イベント
| イベント名 | 【オンデマンド配信】 PFAS規制の動向と半導体産業へ影響 |
|---|---|
| 開催期間 |
2024年12月26日（木）
23:59まで申込み受付中 ／映像時間：約2時間43分 ／収録日時：2024年8月30日 （期間中は何度でも視聴可） ※会社・自宅にいながら受講可能です※ |
| 会場名 | 【オンデマンド配信】 ※何度でも・繰り返し視聴可能です。 |
| 会場の住所 | オンライン |
| お申し込み期限日 | 2024年12月26日（木）23時 |
| お申し込み |
|
【オンデマンド配信】
PFAS規制の動向と半導体産業へ影響
～半導体製造工程におけるPFAS使用工程と対応状況～
視聴期間：申込日を含めて営業日で10日間（期間中は何度でも視聴可）
【半導体産業応援キャンペーン対象セミナー】3名以上のお申込みでさらにおトク
いまや半導体デバイスの製造に欠かせない有機フッ素化合物（PFAS）
強化され続けているPFAS規制は半導体産業、半導体業界にどんな影響を与えているのか、
今後与えるのか
現在の対応状況、今後はどのように備えればいいのか、
PFASが半導体製造工程においてどのように使われているかも解説
半導体の技術、市場のトレンドとPFAS規制の関係、PFAS処理と代替材料の動向、
半導体デバイスメーカー、半導体製造装置メーカー、
半導体部材メーカーの取り組み状況、、、
| 講師 |
(株)ISTL 代表取締役社長 博士(工学) 礒部 晶 氏
【略歴】
1984年－2002年 NECにてLSI多層配線プロセス開発
2002年－2006年 東京精密(株)にて執行役員CMPグループリーダー
2006年－2013年 ニッタハースにて研究開発GM
2013年－2015年 (株)ディスコにて新規事業開発
2015- (株)ISTL
| セミナー趣旨 |
有機フッ素化合物（PFAS）の規制がますます強まっており、一般のニュースでも目にすることが多くなった。PFASとはどういう物質で、どのような性質を持ち、なぜ規制されるのかについて解説する。また、ストックホルム条約（POPｓ条約）および各国の規制動向についても解説する。半導体製造にも様々な工程でPFASが用いられている。それぞれの工程の内容となぜPFASが用いられているかを解説する。また、強まる規制に対して、装置・材料メーカーやデバイスメーカーが、どのように対応が行われているかについても述べる。
| セミナー講演内容 |
1．PFASとは
1-1 PFAS関連のニュース
1-2 PFASの種類と性質
1-3 PFASの用途
2．PFAS規制の動向
2-1 POPｓ条約
2-2 日本の規制動向
2-3 欧州の規制動向
2-4 米国の規制動向
3．半導体製造におけるPFAS使用工程（前工程）
3-1 半導体製造方法（前工程）の基礎
3-2 リソグラフィー
3-3 ウエットエッチング
3-4 ドライエッチング
3-5 配管材料等
4．半導体製造におけるPFAS使用工程（後工程）
4-1 半導体製造方法（前工程）の基礎
4-2 テープ・フィルム類
4-3 モールド材
4-4 基板層間膜
5．PFAS処理と代替材料の動向
5-1 製品ライフサイクルと人体・環境への影響
5-2 廃液処理の現状
5-3 PFASの分析方法
5-4 代替材料開発動向
5-5 装置・材料メーカー、デバイスメーカーの対応状況
6．まとめ
1-2 PFASの種類と性質
1-3 PFASの用途
2．PFAS規制の動向
2-1 POPｓ条約
2-2 日本の規制動向
2-3 欧州の規制動向
2-4 米国の規制動向
3．半導体製造におけるPFAS使用工程（前工程）
3-1 半導体製造方法（前工程）の基礎
3-2 リソグラフィー
3-3 ウエットエッチング
3-4 ドライエッチング
3-5 配管材料等
4．半導体製造におけるPFAS使用工程（後工程）
4-1 半導体製造方法（前工程）の基礎
4-2 テープ・フィルム類
4-3 モールド材
4-4 基板層間膜
5．PFAS処理と代替材料の動向
5-1 製品ライフサイクルと人体・環境への影響
5-2 廃液処理の現状
5-3 PFASの分析方法
5-4 代替材料開発動向
5-5 装置・材料メーカー、デバイスメーカーの対応状況
6．まとめ
※詳細・お申込みは上記
「お申し込みはこちらから」（遷移先WEBサイト）よりご確認ください。
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