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12/26まで申込み受付中 【オンデマンド配信】 PFAS規制の動向と半導体産業へ影響

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知的財産・法規制 電気・電子・半導体・通信  / 2024年11月29日 /  化学・樹脂 電子・半導体
イベント名 【オンデマンド配信】 PFAS規制の動向と半導体産業へ影響
開催期間 2024年12月26日（木）
23:59まで申込み受付中　
／映像時間：約2時間43分　
／収録日時：2024年8月30日
（期間中は何度でも視聴可）
※会社・自宅にいながら受講可能です※
会場名 【オンデマンド配信】　 ※何度でも・繰り返し視聴可能です。
会場の住所 オンライン
お申し込み期限日 2024年12月26日（木）23時
お申し込み

【オンデマンド配信】

PFAS規制の動向と半導体産業へ影響

～半導体製造工程におけるPFAS使用工程と対応状況～

 

視聴期間：申込日を含めて営業日で10日間（期間中は何度でも視聴可）
 
【半導体産業応援キャンペーン対象セミナー】3名以上のお申込みでさらにおトク 
いまや半導体デバイスの製造に欠かせない有機フッ素化合物（PFAS）
強化され続けているPFAS規制は半導体産業、半導体業界にどんな影響を与えているのか、
今後与えるのか

現在の対応状況、今後はどのように備えればいいのか、
PFASが半導体製造工程においてどのように使われているかも解説

半導体の技術、市場のトレンドとPFAS規制の関係、PFAS処理と代替材料の動向、
　半導体デバイスメーカー、半導体製造装置メーカー、
半導体部材メーカーの取り組み状況、、、

 

講師

 

 (株)ISTL　代表取締役社長　博士(工学)　礒部 晶　氏

【略歴】
1984年－2002年　NECにてLSI多層配線プロセス開発 
2002年－2006年　東京精密(株)にて執行役員CMPグループリーダー
2006年－2013年　ニッタハースにて研究開発GM
2013年－2015年　(株)ディスコにて新規事業開発
2015- (株)ISTL

 

 セミナー趣旨

 

 　有機フッ素化合物（PFAS）の規制がますます強まっており、一般のニュースでも目にすることが多くなった。PFASとはどういう物質で、どのような性質を持ち、なぜ規制されるのかについて解説する。また、ストックホルム条約（POPｓ条約）および各国の規制動向についても解説する。半導体製造にも様々な工程でPFASが用いられている。それぞれの工程の内容となぜPFASが用いられているかを解説する。また、強まる規制に対して、装置・材料メーカーやデバイスメーカーが、どのように対応が行われているかについても述べる。

 

 セミナー講演内容

 

1．PFASとは

　1-1 PFAS関連のニュース
　1-2 PFASの種類と性質
　1-3 PFASの用途

2．PFAS規制の動向
　2-1 POPｓ条約
　2-2 日本の規制動向
　2-3 欧州の規制動向
　2-4 米国の規制動向

3．半導体製造におけるPFAS使用工程（前工程）
　3-1 半導体製造方法（前工程）の基礎
　3-2 リソグラフィー
　3-3 ウエットエッチング
　3-4 ドライエッチング
　3-5 配管材料等

4．半導体製造におけるPFAS使用工程（後工程）
　4-1 半導体製造方法（前工程）の基礎
　4-2 テープ・フィルム類
　4-3 モールド材
　4-4 基板層間膜

5．PFAS処理と代替材料の動向
　5-1 製品ライフサイクルと人体・環境への影響
　5-2 廃液処理の現状
　5-3 PFASの分析方法
　5-4 代替材料開発動向
　5-5 装置・材料メーカー、デバイスメーカーの対応状況 

6．まとめ

 

 

※詳細・お申込みは上記

「お申し込みはこちらから」（遷移先WEBサイト）よりご確認ください。

 

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