2/18 XPSの基礎と測定・解析テクニック

 　X線光電子分光法（X-ray Photoelectrons Spectroscopy:XPS）は、材料表面分析手法の一つである。材料表面数nmの定性、定量分析だけでなく、化学結合状態分析が可能で、材料表面の特性を評価するのに有用な手法である。また、検出器と試料の検出角度を変化させる検出角度分解法による非破壊の深さ方向分析や、Arスパッタリングを併用しながら、材料の深さ方向の分析も可能である。

　本セミナーでは、まず、XPSの原理およびスペクトルから得られる基本的な情報、得られたスペクトルの解析法を紹介する。次に、より正確な解析を行うためのチャージアップ対策などの測定条件やサンプルプレパレーションの工夫に触れ、実際的な測定応用例として、二次電池材料やバイオポリマーなど、機能性材料について実際に評価した事例、また、XPSを最大限にまで活用したチャレンジング解析事例について解説する。また、装置のメンテナンスについても触れ、XPS装置の初歩から応用までの全体的な内容を解説する。

1．X線光電子分光法（XPS）
　1.1 Ｘ線光電子分光法の原理
　1.2 データ処理と解析
　　1.2.1 定性
　　1.2.2 定量分析
　　1.2.3 化学状態分析
　　1.2.4 ピークフィッテイング
　1.3 測定条件について

２．XPSを用いた材料評価と解析手法
　2.1 粉末、薄膜など材料の形態と試料調整、測定法について
　2.2 材料（金属、無機、有機・高分子等）によって異なる測定手法
　2.3 より正確な情報を得るために ―試料の取り扱い方、サンプリング法―

３．実際の測定例
　3.1 機能性材料表面への応用
　3.2 チャレンジングな解析事例

４．装置のメンテナンスと管理運営
　4.1 超高真空装置のメンテナンス
　4.2 企業の場合
　4.3 研究所の場合
　4.4 大学の場合

□質疑応答□

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