イベント
イベント名 | ALD(原子層堆積法)による 高品質膜作製・コーティング技術 |
---|---|
開催期間 |
2023年10月27日(金)
13:00~16:30 ※会社・自宅にいながら受講可能です※ |
会場名 | Live配信セミナー(リアルタイム配信) |
会場の住所 | 東京都 |
お申し込み期限日 | 2023年10月27日(金)13時 |
お申し込み受付人数 | 30 名様 |
お申し込み |
|
ALD(原子層堆積法)による
高品質膜作製・コーティング技術
■表面反応機構の理解とモニタリング、適切な材料選択、プロセス調整の知識へ■
受講可能な形式:【Live配信】のみ
★ LSI、MEMS、太陽電池、機械部品、コーティングなどにも活用検討がされているALD(原子層堆積法)
★ 最新研究成果として各種酸化物膜の室温形成技術についても解説します。
講師 |
山形大学 大学院理工学研究科 教授 廣瀬 文彦 氏
【主な経歴、専門、研究】
1992年3月 東北大学大学院工学研究科修了 博士(工学)
現在 山形大学大学院理工学研究科教授
専門 半導体薄膜製造、界面制御太陽電池
主な研究 プラズマプロセスを用いた室温原子層堆積法の研究
【WebSite】
https://fhirose.yz.yamagata-u.ac.jp/
趣旨 |
原子層堆積法は、金属酸化物薄膜を複雑形状にもコンフォーマルで形成できることから、LSI製造に利用されています。近年では、LSIのみならず、MEMS、太陽電池、機械部品、PETボトルへのコーティングにも活用が検討されています。
原子層堆積での高品質膜の達成のため、表面反応を中心とした反応機構の理解と、モニタリング、そして適切な材料選択、プロセス調整の知識が欠かせません。山形大学ではこれまで原子層堆積法のその場観察と低温化研究を進めてまいりましたが、我々の研究成果を題材に、原子層堆積法の特に表面反応を中心とした機構理解の達成を目標とします。さらに最新研究成果として各種酸化物膜の室温形成技術について紹介いたします。
プログラム |
<得られる知識・技術>
吸着反応機構、表面酸化、モニタリング技術、プロセス調整
<プログラム>
1.原子層堆積の基礎
1.1 原子層堆積の開発の歴史
1.2 熱ALD
1.4 プラズマALD
2.原子層堆積における表面反応
2.1 吸着反応
・物理吸着と化学吸着
・ラングミュア―型解離吸着
2.2 吸着のモニタリング手法
2.3 プリカーサーの選択
2.4 酸化反応
2.5 酸化種の選択
2.6 酸化物表面と水の反応
2.7 酸化物表面と水素脱離
2.8 フォーミングアニールと界面層の問題
2.9 不純物モニタリング
3.山形大学開発室温原子層堆積法の解説
3.1 SiO2の室温形成事例とアクリル樹脂コーティング
3.2 生体親和膜TiO2の室温形成事例とペットボトルコーティング
3.3 Al2O3の室温形成事例
3.4 HfO2の室温形成事例
3.5 Fe2O3の製膜事例
3.6 アルミナシリケート薄膜の室温製膜事例とイオン吸着フィルターへの応用
3.7 ナノ微粒子ALD
□質疑応答□
吸着反応機構、表面酸化、モニタリング技術、プロセス調整
<プログラム>
1.原子層堆積の基礎
1.1 原子層堆積の開発の歴史
1.2 熱ALD
1.4 プラズマALD
2.原子層堆積における表面反応
2.1 吸着反応
・物理吸着と化学吸着
・ラングミュア―型解離吸着
2.2 吸着のモニタリング手法
2.3 プリカーサーの選択
2.4 酸化反応
2.5 酸化種の選択
2.6 酸化物表面と水の反応
2.7 酸化物表面と水素脱離
2.8 フォーミングアニールと界面層の問題
2.9 不純物モニタリング
3.山形大学開発室温原子層堆積法の解説
3.1 SiO2の室温形成事例とアクリル樹脂コーティング
3.2 生体親和膜TiO2の室温形成事例とペットボトルコーティング
3.3 Al2O3の室温形成事例
3.4 HfO2の室温形成事例
3.5 Fe2O3の製膜事例
3.6 アルミナシリケート薄膜の室温製膜事例とイオン吸着フィルターへの応用
3.7 ナノ微粒子ALD
□質疑応答□
※詳細・お申込みは上記
「お申し込みはこちらから」(遷移先WEBサイト)よりご確認ください。
- サイト内検索
- ページカテゴリ一覧
- 新着ページ
-
- 7/25 <なぜ今、めっきが半導体・電子デバイスに重要なのか?> よくわかる!めっき技術/新めっき技術と 半導体・エレクトロニクスデバイスへの応用・最新動向 (2025年07月17日)
- 7/30 イチからわかる、 半導体製造装置の基礎・トレンドと今後の展望 (半日速習、2025年夏版) (2025年07月17日)
- 7/30 高熱伝導材料の基本、配合設計と熱マネジメント技術 (2025年07月17日)
- 12/25まで申込み受付中 【オンデマンド配信】 〔抗体医薬品のシーケンスバリアント〕 原因解明に基づいた軽減戦略、擬陽性の削減戦略、 スクリーニングのプラットフォームと管理戦略の提案 (2025年07月17日)
- 9/29まで申込み受付中 【オンデマンド配信】 ICH Q2(R2)、Q14をふまえた 承認申請時の分析法バリデーションの留意点 (2025年07月17日)
- 7/25 <なぜ今、めっきが半導体・電子デバイスに重要なのか?> よくわかる!めっき技術/新めっき技術と 半導体・エレクトロニクスデバイスへの応用・最新動向 (2025年07月15日)
- 7/30 ポリマーアロイにおける 分散構造、界面構造の形成と モルフォロジーの観察・解析手法 (2025年07月15日)
- 7/30 【研究開発動向:2時間セミナー】 抗体薬物複合体(ADC)における ペイロードの生体膜透過メカニズムと細胞内動態評価 (2025年07月14日)
- 7/31 センサから取得した時系列データの 処理・解析技術と機械学習の適用 (2025年07月14日)
- 7/29 高分子結晶化のメカニズムと評価法 -プラスチック材料の固化現象の科学と応用- (2025年07月10日)