イベント
5/22 <半導体デバイス向けプラズマ装置による高品質成膜へ> プラズマCVD(化学気相堆積)装置による 高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応
イベント名 | <半導体デバイス向けプラズマ装置による高品質成膜へ> プラズマCVD(化学気相堆積)装置による 高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応 |
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開催期間 |
2024年05月22日(水)
~ 2024年06月04日(火)
【Live配信】2024年5月22日(水)13:00~16:30 【アーカイブ配信】2024年6月4日(火)から配信開始 【視聴期間:6/4(火)~6/17(月)】 ※会社・自宅にいながら受講可能です※ |
会場名 | 【Live配信(Zoom使用)受講】もしくは【アーカイブ配信受講】 |
会場の住所 | オンライン |
お申し込み期限日 | 2024年06月04日(火)16時 |
お申し込み受付人数 | 30 名様 |
お申し込み |
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<半導体デバイス向けプラズマ装置による高品質成膜へ>
プラズマCVD(化学気相堆積)装置による
高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応
■装置メーカーの立場から、プラズマCVD装置の技術/課題と対策を解説■
受講可能な形式:【Live配信】or【アーカイブ配信】のみ
【半導体産業応援キャンペーン対象セミナー】3名以上のお申込みでさらにおトク
【半導体産業応援キャンペーン対象セミナー】3名以上のお申込みでさらにおトク
★ 30年以上の実績・経験がある装置メーカーから、実務レベルで解説いたします!
<得られる知識・技術>
プラズマCVD装置に関して、開発してきた技術や課題と対策について知ることができます。
プラズマCVD装置に関して、開発してきた技術や課題と対策について知ることができます。
講師 |
SPPテクノロジーズ(株)
製造部 次長 兼 生産管理グループ長 兼 マーケティング部 マネジャー 金尾 寛人 氏
【経歴・研究内容・専門・活動】
1989年3月 名古屋工業大学 工学部 第一部 電気情報工学科を卒業.
1989年4月 住友金属工業(株)に入社.
Si基板上GaAs膜のヘテロエピタキシー成膜技術の研究開発(1年)や半導体デバイス向けECRプラズマ装置による成膜、エッチング技術の研究開発及び商品開発(10年)
2000年4月 住友精密工業(株)に入社(派遣、2002年3月転籍、2011年12月にSPPテクノロジーズに出向)
MEMSや光デバイス向けプラズマ装置による成膜、エッチング技術の研究開発及び商品開発(3年半)
装置全般の技術営業、マーケティング(現在)
【WebSite】
https://www.spp-technologies.co.jp/
セミナー趣旨 |
当社は、1989年から「研究開発用半導体一貫製造システム」の開発を開始して、装置メーカーとして、30年以上の実績・経験があります。この講演では、プラズマCVD装置に関して、開発してきた技術や課題と対策を中心にご紹介いたします。
セミナー講演内容 |
※詳細・お申込みは上記
「お申し込みはこちらから」(遷移先WEBサイト)よりご確認ください。
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