11/26 セラミックグリーンシート成形技術の総合知識

1．シート成形前工程
　1.1 素原料紛混合
　　1.1.1 素原料紛の選定
　　1.1.2 ボールミル湿式混合
　1.2 素原料スラリーの乾燥
　1.3 仮焼
　1.4 ボールミル湿式粉砕
　1.5 分散
　　1.5.1 設備・条件
　　1.5.2 バインダー選定
　　1.5.3 可塑剤選定
　1.6 脱泡（粘度調整）

2．シート成形工程
　2.1 バインダー量・可塑剤量適正化
　2.2 シート密度・空隙率
　2.3 スラリーの管理
　2.4 シート成形機
　　2.4.1 ダム構造
　　2.4.2 スラリー液面制御
　　2.4.3 スラリー性状
　　2.4.4 乾燥ゾーン
　　2.4.5 キャリアフィルム

3．シート成形後工程
　3.1 ビアホール形成
　3.2 内部配線印刷
　　3.2.1 導電ペーストの選定
　　3.2.2 耐シートアタック性
　　3.2.3 印刷スクリーンの仕様選定・管理
　　3.2.4 スキージの選定・管理
　3.3 積層・圧着
　　3.3.1 積層位置合わせ手段
　　3.3.2 圧着条件
　3.4 切断
　3.5 焼成
　　3.5.1 温度プロファイル
　3.6 端子電極形成

4．周辺技術
　4.1 クリーン環境
　　4.1.1 クリーン度
　　4.1.2 温度・湿度
　4.2 解析・評価技術
　　4.2.1 表面分析
　　　4.2.1.1 SEM/EDX
　　　4.2.1.2 EPMA
　　4.2.2 マイクロフォーカスX線透視装置
　　4.2.3 超音波探傷/超音波イメージング装置

5．特許出願の推進
　5.1 利用関係
　5.2 「製造方法」の出願例
　5.3 「もの」の出願例
　5.4 「製造設備」の出願例

6．まとめ
　（備考　主な設備メーカ、サプライヤー）

質疑応答