イベント名 | 弾性波デバイス(BAW・SAW)の基礎と最新動向 |
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開催期間 |
2025年04月22日(火)
10:30~16:30 【アーカイブの視聴期間】 視聴期間:4/23PM~5/2の10日間 ※アーカイブは原則として編集は行いません ※視聴準備が整い次第、担当から視聴開始のメールご連絡をいたします。 (開催終了後にマイページでご案内するZoomの録画視聴用リンクからご視聴いただきます) ※会社・自宅にいながら受講可能です※ |
会場名 | 【ZoomによるLive配信セミナー】アーカイブ(見逃し)配信付き |
会場の住所 | オンライン |
お申し込み期限日 | 2025年04月22日(火)10時 |
お申し込み受付人数 | 30 名様 |
お申し込み |
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弾性波デバイス(BAW・SAW)の基礎と最新動向
~高周波化・広帯域化に向けて~
量産化/実用化/先駆的研究開発に関する受賞歴も豊富な講師が
開発テーマの考え方、実用化の進め方、
・一般的なBAW(FBAR)・SAW・板波の知識
・BAW・板波の基礎・原理
・BAW・SAW用材料
・BAW・板波の各種振動モードの種類
・BAW・SAWフィルタの原理、応用例
・BAW・SAWを開発・設計する基礎知識
・開発テーマの考え方
・開発・実用化の進め方
・開発・製造における問題点とその解決方法
・一般的なBAW(FBAR)・SAW・板波の知識
・BAW(FBAR)・SAWデバイス関係セールスエンジニア
・BAW(FBAR)・SAW・板波開発担当者
・BAW(FBAR)・SAW・板波実用化担当者
・BAW(FBAR)・SAW・板波製造担当者
・新しい弾性波デバイス研究担当者
・開発企画担当者
【Live配信受講者 限定特典のご案内】
当日ご参加いただいたLive(Zoom)配信受講者限定で、特典(無料)として
「アーカイブ配信」の閲覧権が付与されます。
オンライン講習特有の回線トラブルや聞き逃し、振り返り学習にぜひ活用ください。 |
講師 |
東北大学 工学研究科・シニアリサーチフェロー 工学博士 門田 道雄 氏
【専門】弾性波デバイス、超音波
元村田製作所フェロー 元東北大学特任教授 【講師紹介】
セミナー趣旨 |
圧電薄膜バルク波デバイス(BAW、FBAR)や弾性表面波(SAW)は小形、軽量、周波数無調整、高信頼性、高周波化対応可能等の特徴を持つ。SAWの民生用への応用はテレビの映像中間周波数(VIF)用フィルタが最初で、その後SAWデバイスは自動車電話、コードレス電話、ペジャ用などへの応用を経て、今や携帯電話、スマートフォンに欠かせない重要な部品となっている。一方、BAWは携帯電話の普及により採用され、当時、SAWの比べて急峻な特性を持つため、急峻な特性が要求されるbandを中心に採用されるようになった。近年のスマートフォンの普及により、両デバイスは、それぞれ特徴を生かしたBandに使用されている。また近年の周波数の混雑対策として、SAWでも急峻な特性が得られるようになってきている。今後、急峻な特性と良好な温度特性をもつフィルタ特性に加え、キャリアアグリゲーションシステムの普及により、広い周波数範囲でスプリアスのないフィルタが要求されている。さらに近年、第5世代用あるいは第6世代用に加え、自動運転、ICT、FR3など5~24GHz用高周波弾性波フィルタが要求されるなど、ますますBAWやSAWフィルタの弾性波デバイスへの期待が高くなっている。
本講演ではこれらの背景を踏まえ、弾性体・圧電体の基礎からBAW・SAWフィルタの原理・応用例や最近の動向、ならびに開発・実用化事例を交えて解説する。
セミナー講演内容 |
1. 弾性体における音波
2. 圧電体と結晶構造
3.BAW(FBAR)及びSAW用材料
3.1 BAW(FBAR)用材料
・多結晶薄膜
・単結晶薄板
3.2 弾性表面波(SAW)用材料
・圧電セラミック主にPb(Ti, Zr)O3
・圧電薄膜
・圧電単結晶
4. バルク波の振動モード:BAW (bulk acoustic wave)
4.1 バルク波の振動モード
4.2 薄板の厚み縦振動
4.3 薄板の厚みすべり振動
4.4 高次モード
4.5 エネルギー閉じ込め型共振子
5. 共振子とフィルタ
5.1 共振子
5.2 ネットワークアナライザによる共振子特性の測定
5.3 SmithチャートS11とインピーダンス特性
5.4 フィルタとは
5.5 多重モードフィルタ(モノリシックフィルタ)
5.6 ラダーフィルタ
5.7 ラダーフィルタのデュプレサへの応用
6. 薄膜バルク波(BAW)デバイス
6.1 キャビティ型とSMBAWR型
6.2 多結晶膜を用いたキャビティ型BAWR(FBAR)
6.3 多結晶膜を用いたSMBAWR
6.4 単結晶を用いたキャビティ型BAWR
6.5 単結晶を用いたSM型BAWR
7. 弾性表面波デバイス
7.1 SAWとは
7.2 SAWの励振
7.3 すだれ状電極(IDT)
7.4 SAWの定数
7.5トランスバースSAWフィルタ
7.6 SAW共振子
7.7 多重モードSAW共振子フィルタ
7.8 SAWラダーフィルタ
8. SAWの種類
8.1 圧電基板単体を伝わるSAW
8.1.1 レイリー波、LSAW、LLSAW (2ndLSAW)
8.1.2 BGS波
8.2 LSAWにおける漏洩成分の除去
8.2.1 ラブ(Love)波
8.2.2 異種基板との組み合わせ
8.3 LLSAWにおける漏洩成分の除去
8.4 層状構造
8.4.1 レイリー波とセザワ波およびその高次モード
8.4.2 境界波
8.4.3 Hetero Acoustic Layer SAW(異基板層状構造)
9. 板波
9.1 種類
9.2 LiNbO3薄板における板波
9.2.1 CDVにより成膜されたLiNbO3薄膜
9.2.2 単結晶LiNbO3薄板
9.3 単結晶LiTaO3薄板における板波
9.4 XBARとYBAR
10 . SAWデバイスの作製プロセス
11. 近年話題のSAWデバイス
11.1 多Band化に必要とされるDuplexer
11.2 異種材料基板を組み合わせたSAWデバイス
11.3 広帯域弾性波デバイス
12. 高周波弾性波デバイスにむけて
12.1 板波
12.2 XBAR・YBAR
12.3 SAW
12.4 BAW
□質疑応答□
※詳細・お申込みは上記
「お申し込みはこちらから」(遷移先WEBサイト)よりご確認ください。
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