3/24 研磨加工技術の基礎と実践的な総合知識

大阪大学　大学院工学研究科　機械工学専攻　教授　博士（工学）　榎本 俊之　氏

 　研磨加工技術は古くからある加工技術にもかかわらず、現在でも多くの先端デバイスの最終仕上げ加工法として用いられています。それは研磨加工が他の加工技術を凌駕する優れた特徴を有するためですが、一方で、検討すべき因子が多く 最適なパフォーマンスを得るのに苦労する方が多いのも実際ではないでしょうか。この問題を解決し優れた研磨加工を実践するには、研磨加工全般にわたり系統立った知識を適切に獲得し、その知識を駆使する中で最先端の加工技術を習得していく必要があります。こうした観点にもとづき、本講座では研磨加工の基礎に重点を置きつつ、最新の動向までを整理し系統立って解説します。最新の動向に関しては、実例を挙げ、高精度・高品位・高能率加工の実現のための現場に役立つポイントを紹介します。

　これから研磨加工に従事されようという初心者・新人の方々、また今一度再確認されたいという方々、さらには今まさに研磨加工に関する課題を抱えている方々、これからの研磨加工の開発動向を把握されたい加工技術者の方々に有意義な講義になるものと考えます。

1．研磨加工の基礎知識
　1.1 研磨加工の特徴
　　1.1.1 切削加工・研削加工・研磨加工
　　1.1.2 ラッピングとポリシング
　　1.1.3 様々な研磨加工方式
　　1.1.4 化学的作用等を複合化させた研磨加工方法
　1.2 砥粒・工具の種類と特徴およびその選択方法
　　1.2.1 ラッピング用砥粒
　　1.2.2 ポリシング用砥粒
　　1.2.3 研磨パッド・研磨布
　1.3 周辺技術
　1.4 研磨加工における除去加工基本モデル

2．最新の研磨加工技術
　2.1 高平坦研磨加工を実現するためのポイント
　　2.1.1 全体形状悪化の要因と対策
　　2.1.2 エッジだれ発生の要因と対策
　2.2 高能率研磨加工を実現するためのポイント
　2.3 固定砥粒研磨加工を実現するためのポイント
　2.4 バフ研磨加工におけるスクラッチ発生低減のためのポイント

3．全体質疑・個別質疑

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