イベント名 | EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術 |
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開催期間 |
2024年05月29日(水)
13:00~16:00 ※会社・自宅にいながら受講可能です※ |
会場名 | Live配信セミナー(リアルタイム配信) |
会場の住所 | 東京都 |
お申し込み期限日 | 2024年05月29日(水)13時 |
お申し込み受付人数 | 30 名様 |
お申し込み |
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EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術
EUVリソグラフィーの基礎とプロセス最適化方法・評価方法
受講可能な形式:【Live配信】のみ
EUVの基本事項とレジスト材料開発、評価・プロセス技術について解説
次世代EUVレジストであるメタルレジストの特徴と評価方法についても言及
・EUVフォトプロセスの最適化方法の習得
・EUVフォトプロセスの評価方法の習得
講師 |
大阪公立大学 大学院 工学研究科 客員教授 関口 淳 氏
[プロフィール]
1983年3月、芝浦工業大学応用化学科卒業。1983年4月、日本ケミテック入社。分析研究所に勤務。1985年4月、住友GCA社に入社。レジスト塗布現像装置のプロセス開発に従事。その後、レジスト解析装置および形状シミュレータのシステム開発に従事。現在、リソテックジャパン㈱専務取締役。2019年4月~立命館大学客員教授、2020年4月~大阪府立大学客員教授、大阪市立大学客員教授、2022年4月~大阪公立大学客員教授。2000年、東京電機大学にて工学博士。応用物理学会会員。高分子学会会員。2016年、精密工学会技術賞。
専門は、フォトリソグラフィー、バイオミメティクス。論文多数。著書は、「感光性フォトレジスト材料の評価」「リソグラフィー技術・その40年」「ノボラックレジスト・材料とプロセスの最適化」(いずれもS&T出版)。講演多数。
趣旨 |
情報システム社会の発展は目覚ましく、パーソナルコンピュータは今や一人一台を所有する。最近では、スマートフォンが手のひらコンピューティングを可能にするなど、私たちの生活を劇的に変えている。また 、取り扱うデータ量も増大しており、ビッグデータと呼ばれる単一のデータ集合内で数十テラバイトから数ペタバイトの範囲のデータをやり取りする時代が到来している。そこに、IoT(Internet of Things) やIoE(Internet of Everything) と呼ばれる、すべての「モノ」がインターネットにつながることで、自動認識や自動制御、遠隔計測などを行うことが発展してきている。
これらの発展はメモリやCPU(中央演算処理装置 ) 等の半導体電子デバイスの技術革新によって支えられており、この電子デバイスの技術 革新は 半導体微細加工技術の進展によるものである。現在は、EUVリソグラフィー技術により、20nmレベルの微細加工が可能となっており、本講座では、このEUVリソグラフィー技術の概要とプロセス評価技術について解説する。
プログラム |
1.1 EUVLの概要
1.2 EUVL用レジスト
2.アウトガス評価技術
2.1 EUVLレジストのアウトガス評価方法
2.2 EUVLレジストのアウトガス評価装置
3.EUVレジストの評価技術
3.1 EUV透過率測定
3.2 ナノパーティクル添加レジストの高感度化
3.3 屈折率nk測定
3.4 EUV2光束干渉露光
4.EUVメタルレジストの評価技術
4.1 メタルレジストの概要
4.2 EUVメタルレジストのアウトガス分析
4.3 EUVメタルレジストの問題点
5.EUVフォトレジストと電子線レジストの感度
□ 質疑応答 □
※詳細・お申込みは上記
「お申し込みはこちらから」(遷移先WEBサイト)よりご確認ください。
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