イベント
5/28 液膜の塗布・乾燥プロセスの物理現象と 膜厚ムラの形成メカニズム、回避・抑制指針
イベント名 | 液膜の塗布・乾燥プロセスの物理現象と 膜厚ムラの形成メカニズム、回避・抑制指針 |
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開催期間 |
2024年05月28日(火)
~ 2024年06月10日(月)
【Live配信】2024年5月28日(火)13:30~17:00 【アーカイブ配信】2024年6月10日(月)まで申込受付 (配信期間:6/10~6/21) ※会社・自宅にいながら受講可能です※ |
会場名 | 【Live配信(Zoom使用)受講】もしくは【アーカイブ配信受講】 |
会場の住所 | オンライン |
お申し込み期限日 | 2024年06月10日(月)16時 |
お申し込み受付人数 | 30 名様 |
お申し込み |
|
液膜の塗布・乾燥プロセスの物理現象と
膜厚ムラの形成メカニズム、回避・抑制指針
~膜厚ムラに対処するための、理論・現象の理解と数値シミュレーション~
受講可能な形式:【Live配信】or【アーカイブ配信】のみ
やっかいな「膜厚ムラ」の回避・抑制に向けて。
液膜の流れや溶媒の蒸発特性等の塗布・乾燥の物理現象、
各種膜厚ムラの形成過程や起きている現象、対策方針、分析方法などを解説します。
膜厚ムラにお悩みの方や、塗布・乾燥の物理現象をより深く理解されたい方など、
膜厚ムラにお悩みの方や、塗布・乾燥の物理現象をより深く理解されたい方など、
ぜひこの機会をお役立てください。
【得られる知識】
・液膜流れに関わる物理現象の特徴
・液膜の塗布・乾燥プロセスで生じる各種膜厚ムラ
・実験・シミュレーション方法
・液膜の塗布・乾燥プロセスで生じる各種膜厚ムラ
・実験・シミュレーション方法
【対象】
・メカニズムの理解に基づいて、応用範囲の広い対策方法を検討したい方
・予備知識: 特に必要ないように構成します。
・予備知識: 特に必要ないように構成します。
講師 |
東京都市大学 機械システム工学科 教授 博士(工学) 白鳥 英 氏
専門:流体工学・熱工学
ホームページ: https://researchmap.jp/suguru_shiratori/
セミナー趣旨 |
微細加工プロセスや各種フィルター・保護膜等の作製工程において、液膜の塗布・乾燥プロセスが欠かせないが、その過程で種々の膜厚ムラが発生する。これらの膜厚ムラは、作製する膜の用途によっては製品の寸法精度などの品質に直結する場合があり、これらのムラを回避・抑制する方策が望まれる。
このセミナーでは、主要な塗布方法であるスピンコート法と加熱乾燥を対象に、代表的な膜厚ムラとして 1)基板端部に生じる隆起、2)基板全面に渡って生じる放射状スジムラに注目して、その形成メカニズムと回避・抑制指針について実験的な観察と理論・数値シミュレーションの両面から解説する。
セミナー講演内容 |
※詳細・お申込みは上記
「お申し込みはこちらから」(遷移先WEBサイト)よりご確認ください。
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