11/13 フレキシブルデバイス向け ハイバリアフィルムの成膜技術と最新動向

山形大学　産学連携教授　古川 忠宏　氏
【専門】印刷、成膜、プロセス技術　【講師紹介】

　我々は、ロールtoロール（R2R）プロセスによる有機EL(OLED)照明を開発してきたが、最近では有機薄膜太陽電池、ペロブスカイト太陽電池に関するプロセス開発にシフトしてきている。これらのフレキシブルなデバイスを作製するためにはプラスチックフィルムが有利であるが、ガスバリア特性が良くない。OLEDや薄膜系の太陽電池は水蒸気により素子特性が劣化する。そのためフィルムのガスバリア特性を強化したハイガスバリアフィルムが必須になっている。
　本講演では水蒸気バリアの評価方法、色々な手法によるバリア層の形成技術、我々の開発したRoll-to-RollでのPE-CVDによるハイガスバリアフィルムについて解説する。

１．概要

２．バリア特性の評価方法

３．ガスバリア膜の形成技術（各種成膜 コーティング）

４．Roll-to-Roll　PE-CVDによるハイガスバリアフィルム作製技術

　4.1 バリア膜膜厚とバリア特性
　4.2 フィルム洗浄とバリア特性
　4.3 フィルムの平坦性とバリア特性
　4.4 R2Rで成膜されたバリア膜の構造
　4.5 PENフィルムとPETフィルム上への成膜条件

５．まとめ

　　　□質疑応答□

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