10/31 湿式洗浄技術の基礎と プロセス最適化の総合知識

1．洗浄の基礎
　1.1 洗浄とは
　1.2 洗浄工程の組み立てイメージ
　1.3 市販洗浄液の例

2．湿式洗浄の除去メカニズム
　2.1 5つの基本工程と3つの分離メカニズム
　　2.1.1 濡れ
　　2.1.2 分離
　　　・剥離、エッチング
　　　・溶解
　　　・分解
　　2.1.3 再付着防止・分散
　　2.1.4 排出（リンス）
　　2.1.5 乾燥
　2.2 水系洗浄
　　2.2.1 洗浄剤について
　　　・界面活性剤と酸、アルカリの働き
　　　・DLVO理論による汚れ再付着防止
　　　・電位 - pH図 応用によるエッチング剥離
　　2.2.2 排出（リンス）
　　　・PIV応用による排出効率向上
　　2.2.3 乾燥、除電
　2.3 準水系洗浄、非水系洗浄、エマルジョン洗浄
　　2.3.1 洗浄剤について
　　　・ハンセン溶解度パラメーター応用による洗浄溶剤選定
　　2.3.2 排出（リンス）
　　2.3.3 乾燥、除電
　2.4 洗浄液の選定方法
　2.5 市販洗浄液選定方法の例

3．湿式洗浄装置、治具
　3.1 洗浄装置
　　3.1.1 バッチ式装置の構成 
　　3.1.2 装置検討時の注意点
　3.2 超音波（メガソニック）
　　3.2.1 超音波洗浄メカニズム
　　3.2.2 周波数と槽深さの関係
　　3.2.3 異物大きさと周波数の目安
  3.3 その他の機械力印加洗浄
　　3.3.1 スクラブ洗浄
　　3.3.2 ジェットスプレー洗浄
　　3.3.3 二流体シャワー洗浄
　3.4 洗浄装置の選定方法
　3.5 治具　　　　
　　3.5.1 治具の種類
　　3.5.2 使用時の注意点（超音波、乾燥等）

4．洗浄不良と対策
　4.1 洗浄液選定起因の不良
　4.2 アルカリ洗浄液管理起因の不良
　4.3 同一洗浄液での異材質混合流動起因の不良
　4.4 純水バクテリア起因の不良
　4.5 超音波ダメージ起因の不良
　4.6 現場での不良原因確認と対応方法
　　4.6.1 陥りがちな悪い対応例 
　　4.6.2 良い対応例  

5．高品質洗浄への取り組み
　5.1 洗浄基本工程の評価と改善（濡れ、分離、再付着防止について）
　　5.1.1 未知の材料の表面張力の求め方
　　5.1.2 剥離エネルギーの求め方
　　5.1.3 DLVO再付着防止シミュレーション（エクセルソフトは事前配布します）
　　5.1.4 ハンセン溶解度パラメーターによる洗浄液選定の例
　5.2 超音波洗浄の改善
　　5.2.1 溶存空気濃度
　　5.2.2 ウルトラファインバブル添加 
　　5.2.3 超音波槽内の流れ

質疑応答