【新規導入】高分解能観察と分析機能の両立を実現したFE-SEM

多彩なイメージング能力を持つショットキー型FE-SEM

広視野全体像から表面微細構造まで、短い時間で多くの情報を取得できるFE-SEMを導入しました。
表面微細構造、組成、結晶学的情報、形状情報など多彩なイメージング能力を装備。
複数の二次電子信号や反射電子信号が同時に取得でき、
これまでより短い時間で多くの情報を得られるようになりました。

ショットキーエミッター搭載電子銃による最大200 nAの照射電流は、各種マイクロアナリシスに対応。
電流値が高いため、分析能力も強化されています。

★2019年6月には、新型のハイスピードEBSDによる解析オプションを追加しました。
詳しい内容をご希望の方は、コチラをご覧ください。

UD/MD/LDの各検出器での同時取得データ事例

UD/MD/LD※の各検出器での同一条件観察結果です。（加速電圧：1 kV）
UDでは表面微細形状が、MDでは表面の有機物被覆状態が、LDでは観察対象の全体的な凹凸情報がそれぞれ同時に取得できます。
同じ条件下での観察において、情報取得の最大化を図ることができます。

※
UD（Upper Detector）＝上方検出器
MD（Middle Detector）＝中間検出器
LD（Lower Detector）＝下方検出器

大型試料室を採用し、磁場キャンセラー・耐震台も装備

試料室は最大径200 mm、高さは最大80 mmサイズの試料を挿入できます。
また、ステージはXY/135×100 mmの大型タイプで重量は最大2kgまで搭載可能。
例えば、6inchのウエハーなど大型の試料でも素早く測定できる大型試料室で、多種多様な観察・分析に対応します。
さらに磁場キャンセラー・耐震台を備え、20万倍の高倍率観察も可能です。

製品仕様

【製品名】
HITACHI製SU7000
【電子源】
ZrO/Wショットキータイプエミッター
【二次電子分解能】
0.8 nm（加速電圧 15 kV）
0.9 nm（加速電圧 1 kV）
【加速電圧】
0.1～30 kV
【倍率】
20～2,000,000倍（装置スペック）
【照射電流量】
最大200 nA
【試料ステージ】
X/Y/Z : 135 x 100 x 40 （mm）