イベント
2/16 プラズマ生成の基礎とプラズマCVD(化学気相堆積)による 高品質成膜プロセスのノウハウ
イベント名 | プラズマ生成の基礎とプラズマCVD(化学気相堆積)による 高品質成膜プロセスのノウハウ |
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開催期間 |
2024年02月16日(金)
~ 2024年02月29日(木)
【Live配信】 2024年2月16日(金)10:00~17:00 【アーカイブ配信】 2024年2月29日(木)まで受付 【配信期間:2/29(木)~3/13(水)】 ※会社・自宅にいながら受講可能です※ |
会場名 | 【Live配信(Zoom使用)受講】もしくは【アーカイブ配信受講】 |
会場の住所 | オンライン |
お申し込み期限日 | 2024年02月29日(木)16時 |
お申し込み受付人数 | 30 名様 |
お申し込み |
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プラズマ生成の基礎とプラズマCVD(化学気相堆積)による
高品質成膜プロセスのノウハウ
■6時間集中!高品質膜を得ようとした際の、物理的・化学的なメカニズムを理解■
受講可能な形式:【Live配信】or【アーカイブ配信】のみ
★ 高品質なプラズマCVD膜を得るために、プラズマ源の選定、装置設定、現象を徹底理解!
★ ハイバリア成膜、親水・撥水、ディスプレイ、集積回路などの応用へ! スパッタでは出来ない高品質成膜へ。
★ ハイバリア成膜、親水・撥水、ディスプレイ、集積回路などの応用へ! スパッタでは出来ない高品質成膜へ。
<得られる知識、技術>
目的に応じたプラズマ源の選定指針を会得して頂くとともに、そのプラズマ源を用いたときに、ガス流量、圧力、投入電力、基板温度などの操作パラメータを増減させるということが、成膜プロセスに対して何をしていることを意味するのかを理解する。
目的に応じたプラズマ源の選定指針を会得して頂くとともに、そのプラズマ源を用いたときに、ガス流量、圧力、投入電力、基板温度などの操作パラメータを増減させるということが、成膜プロセスに対して何をしていることを意味するのかを理解する。
講師 |
大阪公立大学 大学院工学研究科 教授 白藤 立 氏
【経歴・研究内容・専門】
1991年 京都工芸繊維大学 助手
2001年 京都大学 助教授(2007年より准教授)
2009年名古屋大学特任教授
2010年大阪市立大学教授を経て、2022年大阪公立大学教授
プラズマを用いた材料プロセシングに関する研究に従事。
近年は、大気圧プラズマや液体が関与するプラズマの研究を行っている。
【講師WebSite】
http://t-shirafuji.jp/
セミナー趣旨 |
産業界で高品質なプラズマCVD膜の得るための仕事に従事する方々は、プラズマ源の選定から装置パラメータの設定に至る意思決定をする立場にあると思います。この意思決定を適切に行うためには、各種のプラズマ源の特徴を把握しておく必要があります。
また、そのプラズマ源を用いたリアクター内で起こる物理・化学的現象が、各種パラメータを変えるとどうなるのか、更にそれが膜質にどのように反映されるのかを把握しておく必要があります。
本講座では、プラズマCVDによって高品質膜を得ようとした際の意思決定に関わる物理的・化学的なメカニズムを理解して頂くことを趣旨としました。
セミナー講演内容 |
※詳細・お申込みは上記
「お申し込みはこちらから」(遷移先WEBサイト)よりご確認ください。
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