1/31 リソグラフィ技術の基礎および EUVリソグラフィ・レジスト周辺技術と展望
イベント名 | リソグラフィ技術の基礎および EUVリソグラフィ・レジスト周辺技術と展望 |
---|---|
開催期間 |
2025年01月31日(金)
13:00~16:30 【アーカイブの視聴期間】 2025年2月1日(土)~2月7日(金)まで ※このセミナーはアーカイブ付きです。セミナー終了後も繰り返しの視聴学習が可能です。 ※会社・自宅にいながら受講可能です※ |
会場名 | 【ZoomによるLive配信セミナー】アーカイブ(見逃し)配信付き |
会場の住所 | オンライン |
お申し込み期限日 | 2025年01月31日(金)13時 |
お申し込み受付人数 | 30 名様 |
お申し込み |
|
リソグラフィ技術の基礎および
EUVリソグラフィ・レジスト周辺技術と展望
~半導体プロセス技術、半導体デバイス技術、リソグラフィ技術~
【半導体産業応援キャンペーン対象セミナー】3名以上のお申込みでさらにおトク
●アーカイブ配信のみの受講もOKです。
●微細加工の基礎、フォトリソグラフィ技術の原理、フォトリソグラフィ技術の材料、EUVリソグラフィ技術の応用事例について分かりやすく丁寧に解説して行きます。
【Live配信受講者 限定特典のご案内】
当日ご参加いただいたLive(Zoom)配信受講者限定で、特典(無料)として
「アーカイブ配信」の閲覧権が付与されます。
オンライン講習特有の回線トラブルや聞き逃し、振り返り学習にぜひ活用ください。 |
講師 |
東京大学 大学院新領域創成科学研究科・特任助教 藤原 弘和 氏
<経歴>
1991年、岡山県生まれ。2019年に岡山大学にて博士号(理学)を取得。
同年、東芝メモリ株式会社(現 キオクシア株式会社)入社。
同社メモリ技術研究所デバイス技術研究開発センター配属。
2021年より東京大学物性研究所附属極限コヒーレント光科学研究センター特任研究員
を経て、2024年より同大学大学院新領域創成科学研究科特任助教に着任。
光電子分光・顕微鏡を活用した半導体デバイスおよび材料開発を専門とし、
産学連携による先端分析技術の社会実装にも取り組む。
<WebSite>
https://researchmap.jp/fujiwara_h
セミナー趣旨 |
フォトリソグラフィ技術の進化は、半導体集積回路の集積度向上を支えてきました。最先端の極端紫外線(EUV)リソグラフィによって20 nm以下の線幅まで解像可能となり、微細化による半導体製品の高性能化のトレンドは継続するとみられます。しかし、EUVリソグラフィには特有の課題があり、レジスト材料等の最適化が進められています。
本講演では、微細加工技術の基礎から始まり、フォトリソグラフィ技術の原理や特長、さらに最新のEUVリソグラフィ技術について、光と物質の相互作用に基づいて詳しく解説します。
EUVリソグラフィの装置やレジスト、フォトマスクなどの要素技術から応用事例までを網羅し、最後にフォトリソグラフィ技術の課題と今後の展望について紹介します。これにより、微細加工分野における最先端技術の理解を深めていただくことを目的としています。
セミナー講演内容 |
<得られる知識・技術>
・リソグラフィの物理・評価技術
・半導体プロセス技術
・半導体デバイス技術
<プログラム>
1.微細加工技術
1.1 微細加工の基礎
1.2 微細加工パターンの評価手法
1.2.1 光学顕微鏡
1.2.2 電子顕微鏡
1.2.3 プローブ顕微鏡
2.フォトリソグラフィの基礎
2.1 フォトリソグラフィ技術の原理
2.2 フォトリソグラフィの特長
2.3 フォトリソグラフィの歴史
2.4 フォトリソグラフィ技術の材料
3.EUVリソグラフィ技術の基礎
3.1 EUVリソグラフィ装置
3.2 EUV露光の物理
3.3 EUVレジスト
3.3.1 化学増幅型レジスト
3.3.2 非化学増幅型レジスト
3.3.3 メタルレジスト
3.3.4 その他のレジスト
3.4 レジスト周辺材料
3.5 EUVフォトマスク
3.5.1 EUVマスクブランクス
3.5.2 EUVペリクル
4.EUVリソグラフィ技術の応用事例
4.1 SiC-MOSFETモジュールに求められるもの
4.2 銀または銅焼結接合技術
4.3 SiC-MOSFETモジュール技術
5.フォトリソグラフィ技術の課題と展望
□質疑応答□
※詳細・お申込みは上記
「お申し込みはこちらから」(遷移先WEBサイト)よりご確認ください。
- サイト内検索
- ページカテゴリ一覧
- 新着ページ
-
- 4/21 常温型フッ素コーティングによる 防湿・絶縁・耐酸・撥水・撥油・離型技術と PFAS規制 (2025年03月14日)
- 4/21 光学薄膜技術の総合知識と最新動向 (2025年03月14日)
- 4/24 品質とトラブル時のコストを考慮した 「開発時の安全係数」と「量産時の検査基準」の決め方 【損失関数の基礎と応用】 (2025年03月14日)
- 4/2開講 ≪解説動画9時間で学ぶeラーニング講座≫ Excelを使った乾燥技術の評価実例とトラブル対策 -乾燥技術のすべて。2025- (2025年03月14日)
- 4/24 【医薬品】 プロセスバリデーションセミナー (2025年03月14日)
- 4/23 【医療機器】 プロセスバリデーションセミナー (2025年03月14日)
- 4/25 医薬品製造業者における 原材料・供給者管理と外部委託の際の留意点 (2025年03月14日)
- 4/25 ゴム材料における摩擦・摩耗現象の理解と 制御・対処に必要な基礎知識 ~ゴム材料で発生するトライボロジーの諸問題の解決を目 (2025年03月14日)
- 4/21開講 【通信講座】化学プロセスにおける コスト・設備投資試算/事業採算性検討入門 (2025年03月14日)
- 4/28まで申込み受付中 【オンデマンド配信】 メタマテリアル/メタサーフェスが促す 光/電子デバイス材料設計の新潮流[2024] (2025年03月14日)