2/6 半導体・電子デバイス製造における 真空および薄膜形成・加工技術

１．はじめに
　 1.1 電子デバイスを構成する薄膜技術：なぜ薄膜が必要なのか？
 　1.2 薄膜とは？ 薄膜形成と真空技術（ドライプロセス）
 　1.3 真空技術の特徴と用途
 　1.4 ノーベル賞と真空技術

２．真空技術の基本
　 2.1 圧力とは？　真空の程度を表す指標である圧力 大気圧は変動する
　 2.2 真空の分類
 　2.3 真空下での気体の挙動と特徴
 　2.4 平均自由行程と粘性流・分子流
 　2.5 超高真空の必要性と分子の入射頻度
 　2.6 ガス流量を考える：安定したガス流用制御技術

３．真空技術の電子産業応用
　 3.1 純度を確保するためのガス配管管理：サイクリックパージ
 　3.2 真空充填技術：液晶注入
 　3.3 清浄表面の確保と真空：クラスター装置の設計指針
 　3.4 成膜時の膜純度確保と真空：到達圧力の影響
 　3.5 ＣＶＤ原料の蒸発速度と飽和蒸気圧
 　3.6 低温プラズマプロセスを実現する真空
 　3.7 低蒸気圧の化学物質を取り扱う真空装置の設計

４．真空を作る・測る
　 4.1 真空容器
 　4.2 真空ポンプ
 　4.3 真空計
 　4.4 真空部品
 　4.5 真空システム

５．薄膜形成技術および薄膜加工技術
　 5.1 薄膜形成技術１ PVD_蒸着
　　・蒸着装置の構造
　　・なぜ真空が必要か？
　 5.2 薄膜形成技術２ PVD_スパッタリング
　　・スパッタとは？ スパッタ装置の構造
　　・薄膜製造に使用されている理由：なぜ密着性の良い薄膜が得られるのか？
　　・プロセスプラズマの基礎
　　・絶縁膜に使用する高周波スパッタリング：セルフバイアスの発生メカニズム
　　・プレーナマグネトロンスパッタ技術
　　・バイアススパッタ技術
　　・リアクティブスパッタ技術
　　・スパッタ･リフローおよびフロースパッタ
　　・ＰＶＤシステム構築のポイント
　 5.3 薄膜形成技術３ CVD･ALD
　　・ＣＶＤの特徴と必要性：ＣＶＤを選択するときの理由
　　・化学反応速度論の基礎：表面反応の確認手法
　　・ＣＶＤのプロセス解析：アレニウスプロット
　　・ＣＶＤプロセスウインドウの設計
　　・良好なカバレッジや結晶特性を得るためには
　　・ＣＶＤ装置の設計：クラウジウス－クラペイロンプロット
　　・励起状態を経由するＣＶＤ技術（プラズマ支援ＣＶＤ）
　　・ＡＬＤ技術
　　・ＣＶＤ・ＡＬＤシステム構築のポイント
　 5.4 薄膜加工技術 ドライエッチング
　　・反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）の必要性：微細加工特性
　　・種々のエッチング装置
　　・ドライエッチングの終点モニタ
　　・スパッタエッチングの特性と必要性
　　・ドライエッチングシステム構築のポイント

６．まとめ
　 6.1 今後の製造産業を考える

□質疑応答□