試料を樹脂に埋めず水を使用しないことで、水分に弱い試料でも断面作製できます。

■設備紹介①

メーカ：日本電子
型番：SM-09020CP　 所有台数：3台
型番：IB-09020CP　　所有台数：2台
型番：IB-19510CP　　所有台数：2台
型番：IB-19530CP　　所有台数：2台
・イオン加速電圧：3～6kV
・イオンビーム径：1mm(加速圧:6kV,  　試料:Si)
・ミリングスピード：100μm/h

(加速電圧:6kV,試料:Siエッジ距離　　　　:100μm)
・ミリング範囲：1ｍｍ
・最大搭載試料サイズW9×D10×H2mm
・使用ガス：アルゴンガス
・その他：耐熱温度が100℃以下のサンプルは加工不可。

■設備紹介②

メーカ：日本電子
型番：IB-19520CCP（冷却CP)　所有台数：2台
・ミリングスピード：500μm/h
※2時間の平均値。加速電圧：8 kV、Si換算、

エッジ距離100μm）
・試料ホルダー冷却到達温度：－120℃以下
・試料冷却：－100℃到達時間：60分以内
・イオン光学系
　イオン加速電圧：2～8 kV
　イオンビーム径：500μm（半値幅）
　間欠機能（詳細設定有り）　

■事例紹介

機械研磨では難しい試料でも、断面ミリングによって構造を保持したまま断面を露出できます。
下の事例は、コピー用紙を2枚の銅板の間に挟み込んで加工しました。
（作製実績）
・多孔質フィルム
・ペーパー
・樹脂系エラストマー
豊富な経験と知見を有するクオルテックの技術者が、お客さまの開発をサポートいたします。