2/28 弾性波デバイス（BAW・SAW）の基礎と最新動向

東北大学　工学研究科・シニアリサーチフェロー　工学博士　門田 道雄　氏
【専門】弾性波デバイス、超音波　
  元村田製作所フェロー　元東北大学特任教授　【講師紹介】

　圧電薄膜バルク波デバイス（BAW、FBAR）や弾性表面波(SAW)は小形、軽量、周波数無調整、高信頼性、高周波化対応可能等の特徴を持つ。SAWの民生用への応用はテレビの映像中間周波数(VIF)用フィルタが最初で、その後SAWデバイスは自動車電話、コードレス電話、ペジャ用などへの応用を経て、今や携帯電話、スマートフォンに欠かせない重要な部品となっている。一方、BAWは携帯電話の普及により採用され、当時、SAWの比べて急峻な特性を持つため、急峻な特性が要求されるbandを中心に採用されるようになった。近年のスマートフォンの普及により、両デバイスは、それぞれ特徴を生かしたBandに使用されている。また近年の周波数の混雑対策として、SAWでも急峻な特性が得られるようになってきている。今後、急峻な特性と良好な温度特性をもつフィルタ特性に加え、キャリアアグリゲーションシステムの普及により、広い周波数範囲でスプリアスのないフィルタが要求されている。さらに近年、第5世代用あるいは第６世代用に加え、自動運転、ICT、FR3など5～24GHz用高周波弾性波フィルタが要求されるなど、ますますBAWやSAWフィルタの弾性波デバイスへの期待が高くなっている。
　本講演ではこれらの背景を踏まえ、弾性体・圧電体の基礎からBAW・SAWフィルタの原理・応用例や最近の動向、ならびに開発・実用化事例を交えて解説する。

１．弾性体の基礎

２．圧電体とは

３．バルク波（BAW）（FBAR）（ＸＢＡＲ，ＹＢＡＲ含む）

４．弾性表面波（SAW）

５．板波

６．共振子とフィルタ
　6.1 トランスバーサル型フィルタ
　6.2 共振子フイルタ
　6.3 ラダーフィルタ

７．近年話題のSAW・BAWデバイス

８．今後の動向
　8.1 高周波デバイス
　8.2 広帯域デバイス

９．開発・実用化例

　□質疑応答□

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