5/28 ＜クリーン化技術ノウハウ＞ クリーンルームにおけるゴミ・異物対策 および静電気対策の基礎と実践

ザッツ ブレイン 代表　矢島 良彦　氏
NCC(株) 生産環境クリーン化事業部 チーフコーディネーター

　「クリーンルームは、管理無ければ只の箱」と言われます。その管理の基本『クリーン化の四原則』を明確にし、対象となるエリア「加工点」「保管場所」「搬送系」の3点を対象に、清掃を含めて、いかに効率的にかつ効果的な管理を行うのかを、いくつかあるクリーンルームの形態毎に、不良につながる可能性状態を動画や写真でご紹介し、効果的な管理につながる手法を明らかにして行きます。

　「クリーンルーム環境で製造をしていても、異物不良が発生して困っています。」「クリーン度の数値は規格内にあり問題ないのに、異物不良が多発して悩んでいます。」こうした声を多く聞く様になりました。これは、自工程で不良につながる粒子径や様態を確実に掴んでいないこと。また、パーティクルカウンターに頼った微粒子管理を優先していることが、要因として考えられます。

　5～10～100μｍと言った『粗大粒子』にも着目し、ゴミ・異物の見える化手法やパーティクルカウンターでは、計測し難い粒径や様態の検出手法、数値管理方法を述べて参ります。また、ゴミ・異物管理～対策において避けて通れない「静電気」にも目を向けて管理手法・対策手法を明らかにして参ります。

　現場に戻り即役立つ情報・技術・管理手法等を分かりやすく解説致します。ご質問や疑問点があるときは、質疑応答時間若しくは　終了後メールにてお寄せください。多くのご質問をお待ちしております。一緒に考えて解決して行きましょう。

＜必要な予備知識＞
(1) この講義を受講のために、事前知識や準備は必要ありません。
(2) 初心者・新人の皆さんにも理解できる様、資料にも工夫しております。
(3) 実際の写真や動画を随所に挿入し、分かり易く解説致します。
(4) 現在抱える、課題・疑問等あれば、事前若しくは、
　  当日ご紹介いただければ、講義の中で事例研究として展開させていただきます。

＜習得できる知識＞
(1) クリーンルーム環境の管理手法と実務（入室ルールの基本）
(2) ゴミ・異物の見える化手法と粗大粒子の捉え方と数値管理手法
(3) 浮遊塵埃と落下付着塵埃の挙動の捉え方と管理方法
(4) ゴミ・異物対策を進める上での、静電気対策の後戻りしない考え方
(5) その他（クリーン化技術全般に渡る知識、事例紹介）

＜プログラム＞
１．クリーンルームにおけるゴミ・異物対策の基礎知識　【目安80分】
　1.1 なぜ、クリーン化が求められるのでしょうか。
　1.2 クリーンルームの導入効果とは
　1.3 加速するクリーン化の要求
　1.4 ものづくり環境はどうあるべきなのか。
　　　・良い清浄環境とは？良い製造環境とは？
　1.5 クリーン化関連技術マップの解説
　1.6 クリーンルームの目的とは
　1.7 クリーンルームの活用事例
　1.8 クリーンルームの分類
　1.9 クリーンルームのはじまり～歴史
　1.10 クリーンルームの定義
　1.11 クリーンルーム環境の留意点
　1.12 クリーンルームの方式と特徴
　1.13 2つの清浄化メカニズム
　1.14 HEPA／ULPAフィルターとは
　1.15 エアーフィルターの捕集原理と捕集効率
　1.16 なぜ、クリーン化四原則なのか
　1.17 クリーン度の表し方/クラス比較
　1.18 クリーンルームの日常管理　　等

２．生産環境における浮遊塵埃と落下付着塵埃の管理　【目安80分】
　2.1 なぜ、『浮遊塵埃と落下付着塵埃の管理』と言う捉え方が必要なのか
　2.2 ゴミ・異物不良はなぜ発生するのか？
　2.3 ゴミ・異物の伝播経路を考える
　2.4 身近な発塵源についての情報共有と認識
　2.5 いろいろな資材からの発塵実態
　2.6 落下塵埃：粗大粒子と浮遊塵埃の挙動（振る舞い）の違い
　2.7 自工程で製品不良となる異物のサイズはご存知でしょうか。
　2.8 粗大粒子要因の不良実態と認識
　2.9 気中パーティクルカウンターの特性
　2.10 ゴミ・異物の大きさとその挙動
　2.11 室内清浄度とゴミ・異物不良には相関関係が無い！？
　2.12 ゴミ・異物の見える化の必要性と手法
　2.13 見える化から定量化＆数値管理手法
　2.14 ISO14644-9の解説と運用
　2.15 ISO14644-17の解説と運用
　2.16 落下塵カウンターの概要と活用方法　等

３．クリーン化・異物対策における静電気対策の基礎と実践　【目安110分】
　3.0 なぜ、クリーン化において、なぜ静電気に注力しなければいけないのか？
　3.1 電気とは・・・（動電気／静電気）
　3.2 静電気の基本（静電気の発生と静電気要因不良）
　3.3 静電気対策方法：考え方
　3.4 イオナイザーの種類と特性：選択ミスは不良につながる。
　3.5 除電のメカニズム
　3.6 イオナイザー使用時の注意点
　3.7 作業環境（湿度）と静電気の発生
　3.8 静電気対策は、費用が掛かる？
　3.9 静電気対策事例：良い事例/悪い事例：対策方法事例紹介
　3.10 後戻りしない対策のあり方：まとめ

　　□質疑応答□

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