11/21 光導波路用感光性樹脂の材料設計指針と 導波路作成・微細加工技術

 九州産業大学 生命科学部 生命科学科 准教授 博士（工学） 平山 智之 氏
　【専門】高分子材料化学、有機合成 

 　プリント配線板の作製プロセスが流用できるポリマー光導波路の光インターコネクト及び光回路部品への応用は、古くから検討が行われてきている。しかし、従来の電気基板、配線におけるプロセス及び材料技術の向上により、これまで本格的な光化の市場は開かれてこなかった。このような背景から、これまで多くの国内光導波路メーカーが開発検討を止めていった経緯があるものの、近年、co-package opticsにおける素子-ファイバー間の接続用途として再度需要が高まりつつある。そこで本講演では、ポリマー光導波路に要求される各種特性に対して試みられてきた材料設計、及び、その微細加工方法について、国内企業における従来材料を例に挙げつつ紹介する。

１．光インターコネクトにおける光導波路の役割

２．光導波路用感光性樹脂の材料設計
　2.1 光導波路用材料に求められる物性と課題因子
　2.2 光学特性の付与
　　 ・低損失(吸収損失、散乱損失)
　　 ・光閉じ込め性
　2.3 耐熱特性の付与
　　 ・耐熱黄変
　　 ・黄変の抑制策
　2.4 機械特性の付与
　2.5 微細加工性の付与

３．光導波路の作製方法
　3.1 フォトリソグラフィー法
　3.2 フォトブリーチング法
　3.3 フォトアドレス法
　3.4 リアクティブイオンエッチング（RIE）法

４．国内各社における光導波路材料の設計例

　　□質疑応答□

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