4/26 洗浄技術と洗浄プロセス最適化の総合知識

1．洗浄の基礎
　1.1 汚れの種類と洗浄工程
　1.2 水系洗浄の知っておくべきこと
　1.3 市販洗浄液の例

2．湿式洗浄の除去メカニズム
　2.1 ５つの基本工程と３つの分離メカニズム
　　2.1.1 濡れ
　　2.1.2 分離
　　　・剥離、エッチング
　　　・溶解
　　　・分解
　　2.1.3 再付着防止・分散
　　2.1.4 排出（リンス）
　　2.1.5 乾燥
　2.2 水系洗浄
　　2.2.1 洗浄剤について
　　　・界面活性剤と酸、アルカリの働き
　　　・DLVO理論による汚れ再付着防止
　　　・電位 - pH図 応用によるエッチング剥離
　　2.2.2 排出（リンス）
　　　・PIV応用による排出効率向上
　　2.2.3 乾燥、除電
　2.3 準水系洗浄、非水系洗浄、エマルジョン洗浄
　　2.3.1 洗浄剤について
　　　・ハンセン溶解度パラメーター応用による洗浄溶剤選定
　　2.3.2 排出（リンス）
　　2.3.3 乾燥、除電
　2.4 市販洗浄液選定方法の例

3．湿式洗浄装置、治具
　3.1 超音波（メガソニック）
　　3.1.1超音波洗浄メカニズム
　　3.1.2 異物大きさと周波数の目安
　　3.1.3 超音波洗浄の改善
　3.2 その他の機械力印加洗浄
　　3.2.1 スクラブ洗浄
　　3.2.2 ジェットスプレー洗浄
　　3.2.3 二流体シャワー洗浄
　3.3 治具　　　　
　　3.3.1 治具の種類
　　3.3.2 使用時の注意点

4．乾式洗浄の除去メカニズム
　4.1 プラズマ洗浄
　4.2 UV洗浄、オゾン洗浄
　4.3 レーザー洗浄
　4.4 アイス洗浄、ドライアイス洗浄、エアロゾル洗浄
　4.5 コロナ、光による除電

5．（乾式+湿式）洗浄の除去メカニズム
　5.1 アッシング → 熱硫酸洗浄
　5.2 UV → オゾン水洗浄
　5.3 オゾンガス → 水洗浄

6．洗浄不良と対策
　6.1 洗浄液選定起因の不良
　6.2 アルカリ洗浄液管理起因の不良
　6.3 同一洗浄液での異材質混合流動起因の不良
　6.4 純水バクテリア起因の不良
　6.5 超音波ダメージ起因の不良
　6.6 温水引上げ乾燥時の汚染起因の不良
　6.7 その他の不良原因と対策方法
　6.8 現場での不良原因確認と対応方法
　　6.8.1 陥りがちな悪い対応例
　　6.8.2 良い対応例

7．高品質洗浄への取り組み
　7.1 ５つの基本工程の評価と改善（濡れ、分離、再付着防止、排出、乾燥）
　　実演：エクセルによる再付着防止シミュレーション（ソフトは事前配布します）
　　　　　ハンセン溶解度パラメーターによる洗浄液の選定
　7.2 超音波洗浄の改善
　7.3 特殊形状の製品の洗浄
　7.4 洗浄コスト削減のために

　　□質疑応答□